澳门马拉松2018官网,ASML极紫光刻机中这个部件只有德国人能生产,恐怕日本人也不行

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澳门马拉松2018官网,日本和德国是世界上两大制造强国。

日本企业以小而美、极具工匠精神著称,比如为美日制造顶尖金属成型部件的北岛绞制作所,手工给苹果打磨镜面背板的小林研业,具有超精密非球面加工能力的木村制作所,还有昨天说到的哈德洛克工业株式会社《日本“永不松动”的螺母,到底是什么原理?》,这几个公司员工都非常少。北岛20人,小林5人,木村30人,哈德洛克45人。

小林研业就在这座小房子中

印度可以说盛产世界上最大胆的工程师,其工作极易气死强迫症患者,再复杂环境下的问题都敢解决。

说实话,这种布线只有印度人能维护

而德国真是强迫症患者的天堂,德国人以工作严谨著称于世,啥事都做得一丝不苟。把机房布线搞成行为艺术,似乎是德国技术工人上学时的必修课。

砌墙将水泥末子刮得一干净,充分体现了德国人都是处女座。

我国一直在芯片制造关键设备光刻机上得看荷兰人的脸色,尤其在芯片制程进入极紫外光小纳米时代,我们更加感觉脖子呼吸困难。我之前的一篇文章中介绍过,evu(极紫外)光刻机因为几乎所有材料都对极紫外光具有很强吸收作用,evu必须采用反光镜系统。《有人说我国光刻机突破5nm制程,实际是没搞懂光刻机和蚀刻机区别》

这套系统的原理图是这样的:

图片来自nature photonics 4, 24–26 (2010)

asml这套光学系统对光学元件要求非常高,它对镜面粗糙度的要求,制造商打了一个比方:假如一块镜片面积看做德国国土面积,那么需要将这块镜片打磨得表面所有坑洼控制在1mm以下。

这件工作,只有德国的卡尔.蔡司才干得了!

除了打磨镜片得具有极致的工匠精神之外,还得具有强大的工业测量技术作支撑。而且整个反射镜系统镜片多层镀膜和系统整装都必须在高真空和高洁净环境中完成,环境中任何微小颗粒都会对产品质量造成严重的破坏。

这套反光镜系统即使交给具有百年专业打磨镜片经验的尼康也难以完成,而我国在这方面连日本一半时间的历史积累都不到,要制造出这种成套系统,其难度比当年研发两弹还要高得多。

这是duv光刻机的透镜系统 ,整套系统镜片40来块。

体型参考下图:

光这套系统的镜片的打磨工作就是一项登月工程,这真不是乱说!

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